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硅片半导体材料抛光用抛光液
所属栏目：产品中心 作者：小编 发布时间：2021-12-24 16:52 浏览量：
硅片系列抛光液JSY-CM-S800特别适用于各种硅片、砷化镓、磷化铟、锗的抛光，具有稳定性和分散性良好，去除率高、表面粗糙度小以及对工件无损伤等优点。即使在稀释倍率很高的情况下使用，仍具有很好的抛光效率和使用寿命。
物化指标：
项目Item | CM-S700A | CM-S800系列 | CM-S1200 | CM-S1300 | |
CM-S800 | CM-S801 | A组分 | A组分 | ||
名称Name | 砷化镓抛光液 | 硅片抛光液 | A组分 | 锗抛光液 | |
应用Application | GaAs晶片 | 硅片 | 磷化钢晶片 | 锗片 | |
SiO2含量Content of | 35±5 | 20±2 | 40±2 | 35±5 | 35±5 |
pH (20℃) | 11.0±1.0 | 11.0±1.0 | 11.0±1.0 | 3.0±1.0 | 10.0±1.0 |
比重 Specific graity（kg/L, 20℃) | 1.23-1.235 | 1.12-1.18 | 1.275-1.285 | 1.2-1.3 | 1.2-1.3 |
粒径 partical size(nm) | 80±10 | 80±10 | 40±10 | 80±10 | 100±10 |
包装Package (kg) | 5, 25, 1250 | ||||
符合RoHS标准RoHS complinat | |||||